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TRS-11产品属于创芯海微TRS-X®系列产品，主要用于非接触式体温测量、空调系统以及家用电器智能温度感应与控制。
参数 | 参数值 | 单位 |
晶圆直径 | 200±0.5 | mm |
晶圆厚度 | 400±20 | μm |
划片道宽度 | 120 | μm |
晶圆去边 | 3 | mm |
有效管芯数量 | 18608 | 个 |
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图1. 正面曝光视场分布图（wafer mapping） | 图2. 单个曝光视场芯片分布图（shot mapping） |
注：图1中粉色和黄色为正面图形曝光，黄色为背腔释放曝光，封装拾芯以黄色区域为准。图2中白色区域为测试裸芯，每个视场（shot）有两个裸芯片。
1. 芯片外观尺寸
图3. 芯片外观尺寸图
表2. 芯片外观尺寸表
参数 | 参数值 | 单位 |
芯片尺寸（含划片道） | 1120*1120 | μm2 |
敏感区域 | 700*700 | μm2 |
Bonding PAD尺寸 | 90*90 | μm2 |
PAD金属（AlCu） | 0.5 | μm |
2. 芯片性能参数
表3. 芯片特征参数表
参数 | 参数值 | 单位 |
芯片尺寸 | 1120*1120 | μm2 |
敏感区域 | 700*700 | μm2 |
电阻 | 290±30 | kΩ |
响应率 | 118 | V/W |
时间常数 | 20 | ms |
工作温度 | -30~120 | ℃ |
输出电压1 | 12.62 | mV（环境温度：25℃；黑体温度：500K；黑体距离：100mm） |
输出电压2 | 855.5 | μV（环境温度：25℃；黑体温度：37℃；黑体距离：25mm） |
测试条件：25℃；500K，5.5μm长通；500K，1Hz
3. 常温VT曲线
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图4. VT曲线（25℃；黑体距离25mm） | 图5. VT曲线（23℃；黑体距离25mm） |
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图6. 不同环境温度VT曲线（黑体距离25mm） |
1. 芯片划片尺寸
表4. 芯片划片尺寸
参数 | 参数值 | 单位 |
芯片尺寸（含划片道） | 1120*1120 | μm2 |
划片道尺寸 | 120 | μm |
划片厚度（Si） | 400 | μm |
划片道其他介质 | 3 | μm |
图7. 划片尺寸图
2. 推荐贴膜与划片方法
表5. 推荐贴膜与划片方法
项目 | 操作要求 |
贴膜材料 | UV膜或蓝膜。 |
贴膜方式 | 贴UV膜时，使用8吋或10吋铁环，先将膜贴在铁环上，然后将片子贴在膜上； 晶圆背面贴膜，正面不能贴膜。 |
扩膜 | 按照封装厂的设备要求，提出扩膜尺寸要求。UV膜支持80-100μm扩膜尺寸。 |
解膜 | 封装前需解膜。若划片后晶圆需长途快递，划片后先不解膜，避免因解膜粘度降低而造成结构损伤。 |
划片规格 | 8吋整切，一分四，分别贴膜划片，一分六分别贴膜划片。 |
划片方式 | 使用激光隐形切割，激光隐切深度约100μm/次，划400μm厚度的晶圆，需激光在同一位置切割4-5次。 |
1. 管壳规格参数
表6. 管壳规格参数
参数 | 参数值 | 单位 |
引脚数量 | 4 | Pin |
材质 | SPCC | - |
材质气密性 | ＜1×10-8 | atm.cc/sec |
绝缘气密封 | 传感器在氮气环境中密封 | - |
表面处理 | 电镀镍 | - |
环境物质 | 符合RoHS标准 | - |
腔体压力 | 一个大气压 | - |
2. 管帽图纸参数
表7. 管帽图纸参数
参数 | 参数值 | 单位 |
管帽顶部开孔（光窗口）直径 | 2.5±0.2 | mm |
管帽底部外径 | 5.4±0.2 | mm |
管帽高度 | 2.6±0.2 | mm |
图8. 管帽规格图
3. 引脚电气连接
表8. 引脚电气连接表
引脚 | 定义 |
1 | TP+ |
2 | NTC |
3 | TP- |
4 | Ground |
注：NTC也可放置于引脚1和引脚2之间。
1. 硅基长波通滤光片
表9. 硅基长波通滤光片规格表
参数 | 参数值 | 单位 |
5.5μm~14μm平均透过率 | >80% | - |
厚度 | 0.5±0.1 | mm |
尺寸 | 2.93*2.93（±0.05） | mm2 |
封装形式 | PVC胶膜真空封装 | - |
2. 银电极NTC热敏电阻
表10. 银电极NTC热敏电阻规格表
参数 | 参数值 | 单位 |
热敏电阻阻值 | 100±1% | kΩ |
电阻值Beta值 | 3950±1% | K |
尺寸 | 0.5*0.5（±0.1） | mm2 |
工作温度 | -40~+200 | ℃ |
封装形式 | 蓝膜封装 | - |
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